威尼斯普达特科技从属芯恺半导体装备(徐州)获两台半导体高压化学气相堆积装备样机定

　　公司控股69.2%的从属公司芯恺半导体装备(徐州)有限义务公司，已从一个客户处得到两台半导体高压化学气相堆积(LPCVD)装备样机定单。该等样机定单的支出暂未确认。据董事经作出统统公道查询后所深知、尽悉及确信，于本通告日期，该客户及其终极实益具有报酬自力于公司及其干系人士的第三方。

　　该等装备为用于12寸半导体晶圆制作的炉管LPCVD装备，别离针对LP-SiN与ALD-SiN两类枢纽的薄膜堆积工艺，曾经历前期的测试考证，将别离于2025年5月十九日与2025年6月25日托付至客户的晶圆厂。比拟国产的同类装备，该等装备在手艺上可完成更高的添补深宽比、平均性、台阶笼盖率与更低的净化威尼斯，别的该等装备具有更高的批次消费服从，且具有多种工艺挑选的兼容性。比拟外洋供给商的同类装备37000vip威尼斯，该等装备具有划一程度的手艺机能与更优的性价比，可为客户供给更具综合合作力的处理计划。